由開山上海通用機械研究院自主研發(fā)的離心式雙介質(zhì)氣體組合壓縮機日前在江蘇某全球領(lǐng)先的集成電路制造企業(yè)順利完成調(diào)試并投入使用,，各項參數(shù)達(dá)到設(shè)計要求,，獲得用戶好評。

   眾所周知,，半導(dǎo)體行業(yè)八大核心材料中,，電子氣體是僅次于硅的主要原材料,，其在半導(dǎo)體晶圓制造材料價值中的占比為13.5%。電子氣體在電子產(chǎn)品制造工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入,、刻蝕,、氣相、沉積、摻雜等工藝,，被稱為集成電路,、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”,。電子半導(dǎo)體器件的性能優(yōu)劣與電子氣體的質(zhì)量息息相關(guān),，而高純度/超高純度氮是電子氣體中極其重要的成員之一，其在惰性保護,、載氣,、特種氣體、管道吹掃排氣,、稀釋,、等離子注入等半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)中都是不可或缺的原料氣和工藝氣。而離心式雙介質(zhì)氣體組合壓縮機組則是高純氮生產(chǎn)工藝中的核心裝備,。長期以來其該類型壓縮機市場一直由美國企業(yè)所壟斷,。

   本次成功投運的機組是開山制造、完全自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)首臺套該類型壓縮機,，其使用于一世界500強國際知名氣體公司的制氮系統(tǒng)之中,，這也是這家企業(yè)首次與中國壓縮機廠商進行合作。本次投運成功,，極大的提升了該公司高純氮制備系統(tǒng)的市場競爭力,。這是雙方四年共同努力的結(jié)果。

   與此同時,，兩套運用于國產(chǎn)高純氮制備系統(tǒng)的該類型壓縮機調(diào)試工作也已收尾,，各項參數(shù)達(dá)到設(shè)計需求，甚至部分參數(shù)超越了設(shè)計需求.

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   過去二十年里,，開山持續(xù)在核心技術(shù)上進行大強度投入,，逐步在螺桿、透平,、往復(fù)等各類型壓縮機,、膨脹機、真空泵等諸多領(lǐng)域構(gòu)建起一定技術(shù)優(yōu)勢,。在目前“國產(chǎn)化”需求日益高漲的背景之下,，這種技術(shù)優(yōu)勢使得我們的中國用戶不僅不會因“國產(chǎn)化”去犧牲所需設(shè)備的品質(zhì)，反而“國產(chǎn)化”后獲得了更可靠的產(chǎn)品質(zhì)量和更低的能源消耗,。而對于我們的國際用戶則是發(fā)現(xiàn)以開山為代表的中國裝備為他們帶來了更大的獲益,。本次離心式雙介質(zhì)氣體組合壓縮機的投運成功只是前述文字一個小小的例證吧。